微機電系統工程專業在光、機、電技術一體化方面的優勢和研究成果為微機電系統技術方面的研究和發展打下了堅實的基礎。本系在微納米和微機電系統如微泵、微傳感器、微加速度計等一系列微器件的設計、制造、工藝、測試以及基礎理論等方面進行了深入的研究,其它的研究領域還有:微陀螺和微慣導系統、微光學器件、微測量技術、小飛機、小衛星和微米衛星、納米摩擦學以及光盤機讀寫頭微型機構等。
微機電系統工程專業專業培養，微機電系統工程專業培養目標
微機電系統工程專業是以機、電技術,尤其是微機械為基礎的,綜合多種學科領域技術的新型交叉學科。主要培養從事微機電系統工程方面的設計制造，生產運行?科技開發和技術經濟管理方面的人才。
微機電系統工程專業培養要求
微機電系統工程專業學生主要學習微機電系統工程的基本知識、基礎理論和研究方法；了解微機電系統工程發展方向；具有從事實際工作的基本能力。
微機電系統工程專業知識技能
1.掌握微機電系統工程的基本知識和基本理論；
2.了解微機電系統工程的發展方向；
3.掌握微機電系統工程基礎理論和研究方法；
4.具有實際工作的基本能力；
5.熟練掌握一門外國語，具有交流溝通的能力；
6.具有一定的歸納、整理、分析、設計、撰寫論文的基本能力、進行學術交流的能力、較強的創新意識和創新精神。[1]
微機電系統工程專業主干課程，微機電系統工程專業理論課程
微機電工程材料、微機電器件與系統、微機械學、微納米測量與測試技術、微細加工技術、現代傳感技術、精密工程制造基礎和光存儲技術等。
微機電系統工程專業實踐教學
包括主要課程實、設計（畢業論文）等。
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